도구 및 하드웨어
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(ASD5) BiGa 고정밀 격자 유리 선형 스케일 5um 해상도 및 TTL 신호 및 측정 길이
ASD8 BiGa 고정밀 선형 유리 스케일 ASD8 슬림 스케일
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ASD4 시리즈 BIGA 유리 격자 스케일 선형 스케일
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